材料本身所具有的性能，必须通过正确的热处理手段来达到。只有良好的热处理手段，才能实现蝌蚪窝app下载预想的性能期望。根据塑封模具材料性能要求，塑封模热处理手段主要是高温淬火、深冷处理、高温回火，并多次反复，通过这些不同的处理，达到最佳的模具性能。 

1、高温淬火 

      为了提高材料的刚性和耐磨损性，一般材料均需加热到1030℃以上。高温下，各种合金元素充分溶解于奥氏体内，以便在淬火时获得高的基体硬度，同时为了保证零件不****生脱碳氧化，相应采用了真空处理。目前半导体行业内使用的高速率气淬淬火炉，可以在高真空条件下通过氮气保护对工件进行加热，既保证了工件的脱碳氧化，又防止了合金元素的蒸****。同时采用200-500Kpa范围内可调节气体压力，对工件进行淬火冷却，在保证工件充分淬透的同时又减少了变形。 

2、深冷处理与高温回火 

      高合金钢在淬火后，由于其马氏体转变点（Ms点）均高于室温，为了提高硬度，保证尺寸稳定性，通常要进行深冷处理和高温回火，以保证残余奥氏体充分转变为稳定的回火马氏体。蝌蚪窝app下载将经过真空淬火后的工件，在室温至100℃之间进行校正，然后放入-140℃的深冷处理箱中进行深冷。工件在不出炉的情况下，可以在-140℃至230℃之间进行冷热循环，保证工件不会因为进出炉而产生变形或开裂。同时由于采用氮气保护也避免了工件在回火中的氧化开裂。目前对于D2类材料，蝌蚪窝app下载通常在深冷设备中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循环。对于高于230℃回火的钢种如SAM97、ELmax、ASP23等，蝌蚪窝app下载采用了真空回火炉，在抽真空后，加入99.999%的高纯氮气作为介质，通过吹风方向的改变来形成对流，保证了工件的温度均匀性，同时节省了回火时间。 

3、其它辅助手段 

      在提高了淬火回火及深冷处理质量的同时，蝌蚪窝app下载同时对工件的其它环节给予了充分的重视，过去认为的热处理工件洁净度与处理无关的观点已经被抛弃，增加洁净预处理。即将未入炉零件，通过真空清洗机进行真空去油、脱脂、干燥。去除了工件的各类加工油污和碎屑，保证了入炉工件不会带入其它杂质，避免了在高温加热时杂质分解，污染炉内环境和工件本身，从微观上保证了工件的组织洁净度和处理质量的完美性，提高了工件的使用寿命。